國發基金依教育部所訂之「國家重點領域產學合作及人才培育創新條例」第7條第2項規定，與合作企業共同提供研究學院運作資金。
國發基金補助款僅作為半導體學院的資金來源之一，補助款用途係依照教育部所訂「國家重點領域產學合作及人才培育創新條例」及人事、主計相關規定辦理，國發基金並無其他限制規定。